硅晶片双面研磨机

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硅晶片的超精密加工 - 科学技术 - 道客巴巴

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晶片双面精密研磨机设计_word文档在线阅读与下载_免费文档

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硅晶片的超精密加工_图文_百度文库

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晶片双面精密研磨机设计装配图-第页

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硅晶片抛光加工工艺的试验研究--《新技术新工艺》28年4期

【摘要】:双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想的超光滑表面。本文设计了新的硅片双面抛光加工工艺路线,并在新研制的双面抛光...

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